Reperta

Ausschreibungen

Chemisch-mechanische Poliermaschine

Friedrich-Schiller-Universität Jena

Frist
35 Tage · 13. Okt. 2026
Leistung
— · CPV 38000000
Region
DEG03
Quelle
EU-Oberschwelle (TED)
Veröffentlicht
08. Sept. 2026
Bekanntmachung
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Leistungsgegenstand

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit die Anschaffung einer chemisch-mechanischen Poliermaschine (CMP) für das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Sie muss für Probengrößen bis hin zu Wafern (Halbleiterscheiben) mit Durchmessern von bis zu 100 Millimeter geeignet sein, Rauigkeiten kleiner als 1 Nanometer (RMS-Rauigkeit) erreichen können. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2 Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über einem Gesamtauftragswert von 225.000,00 Euro netto von der Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über dieser Grenze, ist die Vergabestel-le berechtig die Ausschreibung aufzuheben.

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